臭氧是空氣中的氧通過高壓放電產生的，制造臭氧的空氣必須先行凈化和干燥，以提高臭氧發(fā)生器效率并減少腐蝕。臭氧發(fā)生系統(tǒng)的前部為空氣凈化和干燥裝置，以后為臭氧發(fā)生器。其系統(tǒng)布置為：空氣壓縮機將空氣送至冷卻器，然后再經過濾加以凈化，再經過1~2級硅膠或分子篩干燥器，將空氣干燥至露點（－50℃）以下，最后經臭氧發(fā)生器，通過15000~17000V高壓電，在空氣中放電后產生臭氧。
現(xiàn)場用空氣或氧氣為原料制備的臭氧的濃度在2%~10%之間。
臭氧具有高腐蝕性能，通常橡膠、大多數(shù)塑料、普通鋼鐵、銅以及鋁等材料都不能用于臭氧系統(tǒng)�？捎玫牟牧现饕�316和305不銹鋼、玻璃、氯磺烯化聚乙烯合成橡膠、聚四氟乙烯以及混凝土。
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