摘要：本文在天津某電子廠房原有的凈化空調(diào)工程基礎(chǔ)上，對(duì)工藝布置和凈化空調(diào)系統(tǒng)提出改造方案，并對(duì)方案設(shè)計(jì)進(jìn)行了簡單的介紹。

　　關(guān)鍵詞：凈化空調(diào)；改造設(shè)計(jì)

　　1、原有凈化空調(diào)工程情況

　　1.1 簡況

　　該廠房位于天津市開發(fā)區(qū)，建于1995年，主要生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片。系統(tǒng)總面積1510m²， 其中空調(diào)面積385m²，凈化面積1125m²，凈化級(jí)別除黃光室為千級(jí)外，其余均為萬級(jí)。

　　1.2 系統(tǒng)存在的主要問題

　　（1）廠房內(nèi)只對(duì)千級(jí)間黃光室設(shè)圍護(hù)結(jié)構(gòu)，

　　其余房間均為敞開式，凈化區(qū)域與非凈化區(qū)混合在一起，系統(tǒng)較為混亂，難以控制和調(diào)節(jié)，凈化區(qū)域的潔凈度不能達(dá)到要求；

　　（2）非凈化區(qū)域的擴(kuò)散爐，經(jīng)測(cè)定表面溫度可達(dá)50℃，散熱量非常大，在原有設(shè)計(jì)中存在空調(diào)送風(fēng)量不足問題，造成擴(kuò)散爐周圍區(qū)域的溫度高達(dá)37℃，并且回風(fēng)循環(huán)使用，不利于節(jié)能；

　　（3）酸洗槽的排風(fēng)量不足，平均斷面風(fēng)速為0.1m/s，酸性物質(zhì)存留在室內(nèi)環(huán)境中，不能有效地排出，嚴(yán)重影響室內(nèi)的衛(wèi)生和生產(chǎn)環(huán)境；

　　（4）在廠房潔凈區(qū)入口處的風(fēng)淋室風(fēng)速為12m/s的要求，需要更換循環(huán)風(fēng)機(jī)。

　　2、改造方案

　　針對(duì)系統(tǒng)運(yùn)行中出現(xiàn)的的以上情況，經(jīng)與甲方協(xié)商，提出了改造方案。

　　2.1 工藝布置改造方案

　　2.2 凈化空調(diào)系統(tǒng)改造方案

　　3、改造后的使用效果

　　系統(tǒng)改造后經(jīng)高度確保每個(gè)房間的風(fēng)量、正壓達(dá)到設(shè)計(jì)要求，在動(dòng)態(tài)下檢測(cè)，廠房的潔凈度、溫濕度、噪聲、照度等各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到設(shè)計(jì)要求。

　　4、結(jié)論

　　本工程改造前主要特點(diǎn)表現(xiàn)在系統(tǒng)工藝布置不合理（未對(duì)凈化區(qū)及非凈化區(qū)時(shí)行明確劃分）、混用凈化及非凈化區(qū)空調(diào)系統(tǒng)，不符合“規(guī)范”的要求；酸洗槽排風(fēng)量不足；護(hù)散爐區(qū)因送風(fēng)少及未設(shè)局排設(shè)施導(dǎo)致環(huán)境溫度超標(biāo)；改造后將生產(chǎn)工藝布局做了適當(dāng)調(diào)整，按照規(guī)范的要求，對(duì)凈化區(qū)及非凈化區(qū)單獨(dú)設(shè)置空調(diào)系統(tǒng)；加大酸洗槽排風(fēng)量，同時(shí)采用了熱排風(fēng)回收裝置，對(duì)補(bǔ)充新風(fēng)進(jìn)行預(yù)熱（預(yù)冷），節(jié)約能源，降低運(yùn)行費(fèi)用。建議在今后的空調(diào)工程設(shè)計(jì)中，對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境有要求的工藝，既應(yīng)該按照生產(chǎn)過程布置工藝，同時(shí)還要考慮到有利于空調(diào)凈化系統(tǒng)的調(diào)節(jié)和控制，保證生產(chǎn)環(huán)境的可靠性。